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晶圓片快速脫氧高溫烘箱,10pa真空高溫氮?dú)饪鞠?/h2>
產(chǎn)品型號(hào): |
VOD-216 |
品 牌: |
上海旦順 |
價(jià)格電議,您可以向供應(yīng)商詢價(jià)得到該產(chǎn)品價(jià)格 |
|
所 在 地: |
江蘇常州 |
更新日期: |
2025-02-17 |
| 加工定制:是 | | 品牌:上海旦順 | | 型號(hào):VOD-216 | |
晶圓片快速脫氧高溫烘箱,10pa真空高溫氮?dú)饪鞠?/span>
本產(chǎn)品適用于半導(dǎo)體、電子產(chǎn)品、五金制品、醫(yī)療衛(wèi)生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等部門作無(wú)氧化干燥、脫泡、固化、焊接、退火等高溫處理。
型號(hào) |
VOD-90 |
VOD-210 |
VOD-216 |
真空度 |
≤10 pa |
電源 |
AC380V 3φ 50HZ |
功率(KW) |
12 |
18 |
20 |
工作環(huán)境溫度 |
|
性能 |
溫度范圍 |
RT+10℃~450℃ |
升溫時(shí)間 |
2 ℃/minute~4 ℃/minute |
降溫時(shí)間 |
2 ℃/minute~4 ℃/minute
(400℃降至100℃,客戶需配冷卻塔) |
結(jié)構(gòu) |
外殼 |
冷扎碳鋼板,經(jīng)防銹處理后靜電噴塑,耐劃傷 |
內(nèi)膽 |
5mm厚,SUS304不銹鋼,不銹鋼內(nèi)外表面拋光 |
保溫材料 |
厚度150毫米硅酸保溫棉,保溫性能良好 |
箱門 |
真空密封緊迫;門縫自帶高溫保護(hù).(高溫狀態(tài)下使用,為耗品,建議2-3個(gè)月更換一次) |
真空泵 |
LEYBOLD真空泵.(客戶可自行購(gòu)真空泵,或者制定真空泵型號(hào)); |
加熱系統(tǒng) |
四面輻射加熱 |
電器系統(tǒng) |
系統(tǒng)采用PLC控制,加熱啟停、冷卻啟停、真空泵啟停、充氮?dú)鈫⑼#?nbsp; |
溫控輸出 |
SSR輸出,歐姆龍繼電器,固態(tài)繼電器 |
安全保護(hù) |
加熱電流過(guò)流、系統(tǒng)短路保護(hù)、電壓過(guò)壓保護(hù)、真空泵過(guò)負(fù)載、
缺相保護(hù)、電爐超溫報(bào)警等功能 |
內(nèi)容積(L)) |
91 |
215 |
252 |
內(nèi)部尺寸(㎜) |
W450×D450×H450 |
W560×D640×H600 |
W700×D600×H600 |
外部尺寸(㎜) |
W800×D800×H1715 |
W910×D990×H1865 |
W1050×D950×H1865 |
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