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CVD前多晶圓片清洗后烘干專用充氮無氧烘箱
| 產品型號： |
PHH-1008 |
| 品 牌： |
上海旦順 |
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| 所 在 地： |
江蘇常州 |
| 更新日期： |
2025-02-17 |
| | 品牌：上海旦順 | | 型號：PHH-1008 | | 加工定制：是 | |
| | 類型：恒溫 | | 型號：PHH-1008 | | 加工定制：是 | |
充氮厭氧烘箱專用于硅片(或晶片、晶圓片、圓片)進行清洗之后干燥硅片工藝.
PHH-系列充氮厭氧烘箱特點:
1)全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產生器，防機臺本身產生微塵；
2)耐高溫，可以達到和工作場同樣的地潔凈等級；
技術參數：
1． 型號:PHH-1008
2．工作尺寸(mm): W1400×H1300×D600 (寬*高*深)
3．外形尺寸(mm): W1990×H1850×D810 (寬*高*深)
4． 送風方式：強制送風循環(huán)。
5． 溫度范圍：RT＋10℃～300℃。
6． 溫度波動：<±0.5℃。
7． 溫度均勻：±1.5% 。
依測規(guī)范：測SENSOR置放點，離內箱壁內尺寸1／10處。
8．溫控裝置：日本富士P.I.D智能溫控儀表， LED數字顯示及設定、P.I.D自動演算、時間定時。
溫控輸出：SSR輸出，歐姆龍繼電器，固態(tài)繼電器。
測溫裝置：1支PT100 鉑 電阻溫度傳感裝置，測溫精確。
定時裝置：HS48S-99.99定時儀表。
9．內室材料：采用 1.0mm厚度SUS不銹鋼鋼板板金折彎加工，周身做氬弧焊滿焊，密閉，氮氣不泄露
；外箱優(yōu)質SUS不銹鋼數字加工而成，美觀大方 。
10．保溫材質：硅酸鋁。
11．特質復合式SUS304＃不銹鋼電熱產生器。
12．保護裝置：超溫保護，欠相保護,過載保護器，蜂鳴器，開門氮氣自動中斷保護
充氮厭氧烘箱熱線：400-8238860, ,聯(lián)系人：蔣鑫,
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