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CCD光刻前烘工藝專用90度熱風循環(huán)100級無塵烘箱
| 產(chǎn)品型號： |
COL-2 |
| 品 牌： |
上海旦順 |
| 價格電議,您可以向供應商詢價得到該產(chǎn)品價格 |
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| 所 在 地： |
江蘇常州 |
| 更新日期： |
2025-02-17 |
| | 品牌：上海旦順 | | 型號：COL-2 | | 加工定制：是 | |
| | 類型：恒溫 | | 型號：COL-2 | | 加工定制：是 | |
在CCD（電荷耦合器件）制造過程中，顆粒沾污對CCD的薄膜質(zhì)量、光刻圖形完整性等有很大的影響，降低CCD的成品率。CCD制造過程中的顆粒來源主要有兩個方面：一個制造過程中工藝環(huán)境產(chǎn)生的顆粒；另一個是薄膜的淀積、光刻和離子注入等CCD工藝過程中產(chǎn)生的顆粒。工藝環(huán)境的顆�？蓙碓从趬w、設施、設備、材料和人員，工藝過程的顆粒來源于易產(chǎn)生粉塵的工藝，比如說LPCVD淀積多晶硅和氮化硅及刻蝕工藝等。
本公司生產(chǎn)的COL-系列無塵烘箱，即使在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100，為CCD（電荷耦合器件）制造過程中烘烤提供潔凈環(huán)境，預防顆粒沾污
無塵烘箱特點：
1：全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
2 ：采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產(chǎn)生 PARTICLE；
3：采平面水平由后向前送風后經(jīng)美國進口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門
(特殊風道設計)方向送風，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)
技術參數(shù)：
1. 百級無塵烤箱型號:COL-2
2. 無塵烘箱工作尺寸(mm):W600×H600×D500
3. 溫度范圍：RT＋60℃～300℃
4. 無塵烤箱潔凈度：100級；
5. 溫度均勻性:
±1.5%
6. 波 動 度：±0.5℃
7. 電 源：380V 50Hz 7.5KW；
8. 箱體材料：外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵(PARTICLE),內(nèi)室材料：采用SUS304＃無磁性鏡面不銹鋼,保溫材料：超細玻璃棉；
9. 空氣循環(huán)裝置：大容量軸流電機；
10. 加熱方式：不銹鋼電加熱器；
11. 溫度測量傳感器：Pt100 鉑電阻；
12. 控制儀表：進口數(shù)顯溫度控制器，PID調(diào)節(jié)，控制精度0.1℃；
13. 超溫保護儀表：獨立于工作室主控制的超溫保護系統(tǒng)，保證試驗品的安全；
14. 控制系統(tǒng)：主要電器件均采用斯耐德、歐姆龍等進口元氣件；
15. 排 氣 口：ф50；
16. 隔 板：2層，不銹鋼方通，承重約30KG。
無塵烤箱熱線：400-8238860， 聯(lián)系人：蔣鑫,網(wǎng)站：www.done-e.com.
