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300度無氧烘箱 堅膜固化烘箱 百級無塵烘箱COL
詳細信息| 詢價留言品牌：上海旦順 型號：COL 加工定制：是 類型：無氧無塵 材質(zhì)：PI 溫度范圍：室溫+20℃～300/400/500/600 ℃ 功率：3.5kw 工作室尺寸：W450×H350×D450 mm 重量：260 kg 適用范圍：工業(yè) 工作室尺寸：W450×H350×D450 mm 重量：260 kg 300度無氧烘箱 堅膜固化烘箱 百級無塵烘箱
智能烘箱過程管理系統(tǒng)由上海旦順實業(yè)有限公司自主研發(fā)，基于TCP/ip協(xié)議，與工廠系統(tǒng)對接，實現(xiàn)自動化烘烤，過程管理�？刂品奖�、操作簡單、靈活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的構(gòu)造，大大提高生產(chǎn)效力！
無塵烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機構(gòu)。
烘箱主要參數(shù)介紹：
溫度范圍：室溫+20℃～300/400/500/600℃
規(guī)格尺寸：
均勻度：±1.5%型號 工作尺寸（mm） 功率 COL-1-PC W450×H350×D450 3.5Kw COL-2-PC W450×H700×D450 5.5Kw
潔凈等級：Class10 Class100（潔凈度要求可根據(jù)客戶需求配置）
含氧量：<=20PPM 50PPM 100PPM 200PPM 1000PPM （含氧量要求可根據(jù)客戶需求配置）
升溫速度：常溫～+600℃,升溫速率：0~7℃/min，升溫斜率程序可控
降溫速度：降溫斜率程序可控
控制系統(tǒng)：PCL+PC工控電腦。
公司名稱：上海旦順實業(yè)有限公司
業(yè)務(wù)經(jīng)理：蔣鑫; 手機號：15221744475
24小時服務(wù)熱線：400-823-8860
公司主頁：www.espec.com.cn
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- 聯(lián)系人：蔣鑫
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