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旦順容積70L6寸8寸12寸晶圓封裝專用300度class100智能聯(lián)網(wǎng)無塵烘箱QMO
| 產品型號： |
QMO |
| 品 牌： |
旦順 |
|
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| 所 在 地： |
江蘇常州 |
| 更新日期： |
2025-02-17 |
| | 品牌：旦順 | | 型號：QMO | | 加工定制：是 | |
| | 類型：聯(lián)網(wǎng)無塵 | | 材質：不銹鋼 | | 溫度范圍：60-300 ℃ | |
| | 功率：待定 | | 工作室尺寸：定制 mm | | 適用范圍：晶圓 | |
容積70L6寸8寸12寸晶圓封裝專用300度class100智能聯(lián)網(wǎng)無塵烘箱
智能烘箱過程管理系統(tǒng)由上海旦順實業(yè)有限公司自主研發(fā)，基于TCP/ip協(xié)議，與工廠系統(tǒng)對接，實現(xiàn)自動化烘烤，過程管理�？刂品奖恪�操作簡單、靈活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的構造，大大提高生產效力！
智能烘箱過程管理描述：
1.> 工廠系統(tǒng)，選擇烘烤工藝，啟動/停止烘箱；
2.> 工廠系統(tǒng)根據(jù)，過程判斷待烤料件工位，記錄反饋工位信息；
3.> 系統(tǒng)控制開/關門等動作；
4.> 系統(tǒng)記錄并處理各種烘箱異常事件。如：超溫，氮氣不足，含氧量超標、門未關到位；
5.> 實施記錄各種相關數(shù)據(jù)，如，溫度，料件ID，工藝信息
智能烘箱主要參數(shù)介紹：
溫度范圍：室溫+20℃～300/400/500/600℃
均勻度：±1.5%
潔凈等級：Class10 Class100（潔凈度要求可根據(jù)客戶需求配置）
含氧量：<=20PPM 50PPM 100PPM 200PPM 1000PPM （含氧量要求可根據(jù)客戶需求配置）
升溫速度：常溫～+600℃,升溫速率：0~7℃/min，升溫斜率程序可控
降溫速度：降溫斜率程序可控，500℃~300℃約3~5℃/min,300℃~120℃約1~3℃/min,120℃~65℃約0.5~1℃/min
控制系統(tǒng)優(yōu)勢介紹
| 控制系統(tǒng) |
工控電腦+歐姆龍PLC |
| 權限 |
給每個管理者、工程師、操作員獨立用戶名和密碼； |
| 給每個操作者，自定義分配權限（如：啟動，停止，調取工藝，調試，查看報表……） |
| 記錄當前操作者的所有操作記錄； |
| 控制方式切換 |
本地模式 |
由操作者，創(chuàng)建工藝、選擇工藝、執(zhí)行； |
| 遠程模式 |
客戶系統(tǒng)發(fā)送運行工藝指令。支持：MES, SECS/GEM (其他系統(tǒng)，可溝通開發(fā)) |
| 數(shù)據(jù)信息(數(shù)據(jù)信息可以存10年以上！) |
運行工藝信息記錄 |
| 運行數(shù)據(jù)記錄（如：溫度、時間、含氧量、氣體流量、壓力……） |
| 事件記錄（開/關門事件、運行/停止事件、報警事件、故障事件） |
| 通訊記錄（與客戶系統(tǒng)通訊記錄） |
| 操作記錄（操作者操作記錄，如：登錄，注銷，故障處理……） |
| 故障信息顯示 |
通訊故障 |
| 加熱斷線 |
| 循環(huán)風機故障 |
| 氣體管路故障 |
| 異常處理 |
上偏差報警、下偏差報警、上偏差報警停機、上限報警、上限報警停機；（控制點和采樣點）
獨立設備溫度超限斷電；
異常斷電 |
公司名稱：上海旦順實業(yè)有限公司 ，業(yè)務經(jīng)理：蔣鑫; 手機號：15221744475，24小時服務熱線：400-823-8860
公司主頁：www.espec.com.cn
