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旦順8寸晶圓class100可聯(lián)網(wǎng)封裝專用無塵烘箱 MES烘箱QMO

產(chǎn)品型號：

QMO

品牌：

旦順

價格電議,您可以向供應(yīng)商詢價得到該產(chǎn)品價格

所在地：

江蘇常州

更新日期：

2025-02-17

詳細(xì)信息

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品牌：旦順	型號：QMO	加工定制：是
類型：無塵	材質(zhì)：不銹鋼	溫度范圍：20℃～300 ℃
功率：待定	工作室尺寸：定制 mm	適用范圍：晶圓

8寸晶圓class100可聯(lián)網(wǎng)封裝專用無塵烘箱 MES烘箱

智能烘箱過程管理系統(tǒng)由上海旦順實業(yè)有限公司自主研發(fā)，基于TCP/ip協(xié)議，與工廠系統(tǒng)對接，實現(xiàn)自動化烘烤，過程管理。控制方便、操作簡單、靈活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的構(gòu)造，大大提高生產(chǎn)效力！
智能烘箱過程管理描述：
1.> 工廠系統(tǒng)，選擇烘烤工藝，啟動/停止烘箱；
2.> 工廠系統(tǒng)根據(jù)，過程判斷待烤料件工位，記錄反饋工位信息；
3.> 系統(tǒng)控制開/關(guān)門等動作；
4.> 系統(tǒng)記錄并處理各種烘箱異常事件。如：超溫，氮氣不足，含氧量超標(biāo)、門未關(guān)到位；
5.> 實施記錄各種相關(guān)數(shù)據(jù)，如，溫度，料件ID，工藝信息
智能烘箱主要參數(shù)介紹：
溫度范圍：室溫+20℃～300/400/500/600℃
均勻度：±1.5%
潔凈等級：Class10 Class100（潔凈度要求可根據(jù)客戶需求配置）
含氧量：<=20PPM 50PPM 100PPM 200PPM 1000PPM （含氧量要求可根據(jù)客戶需求配置）
升溫速度：常溫～+600℃,升溫速率：0~7℃/min，升溫斜率程序可控
降溫速度：降溫斜率程序可控，500℃~300℃約3~5℃/min,300℃~120℃約1~3℃/min,120℃~65℃約0.5~1℃/min
控制系統(tǒng)優(yōu)勢介紹

控制系統(tǒng)	工控電腦+歐姆龍PLC
權(quán)限	給每個管理者、工程師、操作員獨立用戶名和密碼；
	給每個操作者，自定義分配權(quán)限（如：啟動，停止，調(diào)取工藝，調(diào)試，查看報表……）
	記錄當(dāng)前操作者的所有操作記錄；
控制方式切換	本地模式	由操作者，創(chuàng)建工藝、選擇工藝、執(zhí)行；
	遠(yuǎn)程模式	客戶系統(tǒng)發(fā)送運行工藝指令。支持：MES, SECS/GEM (其他系統(tǒng)，可溝通開發(fā))
數(shù)據(jù)信息(數(shù)據(jù)信息可以存10年以上！)	運行工藝信息記錄
	運行數(shù)據(jù)記錄（如：溫度、時間、含氧量、氣體流量、壓力……）
	事件記錄（開/關(guān)門事件、運行/停止事件、報警事件、故障事件）
	通訊記錄（與客戶系統(tǒng)通訊記錄）
	操作記錄（操作者操作記錄，如：登錄，注銷，故障處理……）
故障信息顯示	通訊故障
	加熱斷線
	循環(huán)風(fēng)機(jī)故障
	氣體管路故障
異常處理	上偏差報警、下偏差報警、上偏差報警停機(jī)、上限報警、上限報警停機(jī)；（控制點和采樣點）獨立設(shè)備溫度超限斷電；異常斷電