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旦順250度光刻膠無塵烘箱 MES系統(tǒng)智能聯(lián)網(wǎng)烘箱COL
產(chǎn)品型號(hào)： COL 品 牌： 旦順 價(jià)格電議,您可以向供應(yīng)商詢價(jià)得到該產(chǎn)品價(jià)格 所 在 地： 江蘇常州 更新日期： 2025-02-17 詳細(xì)信息品牌：旦順 型號(hào)：COL 加工定制：是 類型：無塵 材質(zhì)：不銹鋼 溫度范圍：+60～ 200℃ ℃ 功率：1.5kw 工作室尺寸：待定 mm 適用范圍：光刻膠無塵烘箱 250度光刻膠無塵烘箱 MES系統(tǒng)無塵烘箱 智能聯(lián)網(wǎng)烘箱
無塵烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅(jiān)膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機(jī)構(gòu)。- 無塵烘箱特點(diǎn)：
2.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100
3.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；
4.采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)
生PARTICLE；
5.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國進(jìn)口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))
方向送風(fēng)，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門)
二．無塵烘箱產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)
1.名稱及型號(hào)：無塵烘箱 COL-2D-PC
2.主要技術(shù)指標(biāo)：
2.1無塵等級(jí)：Class 100;
2.2溫度范圍： +60～ 200℃,
2.3溫度均勻度：±1.5%℃（空載測試）
2.4溫度精確度：±1℃（空載）
2.5設(shè)備型號(hào)：型號(hào) 工作室尺寸（mm） 外形尺寸（mm） 加熱功率 臺(tái)數(shù) 層板 COL-2D-PC W600×H550×D600（上）
W600×H550×D600（下）W1460×H1590×D825 14kw 1臺(tái) 2片 3、溫控系統(tǒng)
3.1采用智能控制系統(tǒng),日本優(yōu)易控 10〃TFT真彩觸摸薄屏
程式編輯：可預(yù)編120個(gè)程式，每個(gè)程式可編99段，共1200段
歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過USB接口導(dǎo)出)
3.2訊號(hào)來源：采日制進(jìn)口CA感應(yīng)棒±0.5%。
3.3輸出被控制組件：SSR無接點(diǎn)訊號(hào)輸出。- 完善的安全保護(hù)措施：漏電保護(hù)//過熱保護(hù) 報(bào)警//電機(jī)保護(hù) 報(bào)警//門鎖， 工作時(shí)門自動(dòng)鎖//異
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