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旦順200度300度400度450度晶圓烘烤設(shè)備 百級無塵烘箱 對接MES系統(tǒng)COL-2D-PC
| 產(chǎn)品型號： |
COL-2D-PC |
| 品 牌： |
旦順 |
| 價格電議,您可以向供應(yīng)商詢價得到該產(chǎn)品價格 |
|
| 所 在 地： |
江蘇常州 |
| 更新日期： |
2025-02-17 |
| | 品牌：旦順 | | 型號：COL-2D-PC | | 加工定制：是 | |
| | 類型：無塵 | | 材質(zhì)：不銹鋼 | | 溫度范圍：+60～ 200℃ ℃ | |
| | 功率：14kw | | 工作室尺寸：定制 mm | | 重量：待定 kg | |
| | 適用范圍：工業(yè) | | 工作室尺寸：定制 mm | | 重量：待定 kg | |
200度300度400度450度晶圓烘烤設(shè)備 百級無塵烘箱 對接MES系統(tǒng)
無塵烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機(jī)構(gòu)。
1.可對接MES系統(tǒng)
2.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class 100
3.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺本身所產(chǎn)生微塵；
4.采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產(chǎn)
生PARTICLE；
5.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國進(jìn)口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計)
方向送風(fēng)，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風(fēng)門)
二．無塵烘箱產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)
1.名稱及型號：無塵烘箱 COL-2D-PC
2.主要技術(shù)指標(biāo)：
2.1無塵等級：Class 100;
2.2溫度范圍： +60～ 200℃,
2.3溫度均勻度：±1.5%℃（空載測試）
2.4溫度精確度：±1℃（空載）
2.5設(shè)備型號：
| 型號 |
工作室尺寸（mm） |
外形尺寸（mm） |
加熱功率 |
臺數(shù) |
層板 |
| COL-2D-PC |
W600×H550×D600（上）
W600×H550×D600（下） |
W1460×H1590×D825 |
14kw |
1臺 |
2片 |
3、溫控系統(tǒng)
3.1采用智能控制系統(tǒng),日本優(yōu)易控 10〃TFT真彩觸摸薄屏
程式編輯：可預(yù)編120個程式，每個程式*大可編99段，共1200段
歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過USB接口導(dǎo)出)
3.2訊號來源：采日制進(jìn)口CA感應(yīng)棒±0.5%。
3.3輸出被控制組件：SSR無接點訊號輸出。
- 完善的安全保護(hù)措施：漏電保護(hù)//過熱保護(hù) 報警//電機(jī)保護(hù) 報警//門鎖， 工作時門自動鎖//異
常顯示(紅色警示燈)
公司名稱：上海旦順實業(yè)有限公司
業(yè)務(wù)經(jīng)理：蔣鑫; 手機(jī)號：15221744475
24小時服務(wù)熱線：400-823-8860
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