 |
- 當(dāng)前位置：上海旦順實(shí)業(yè)有限公司 > 產(chǎn)品中心 > 半導(dǎo)體行業(yè)烤箱 > 旦順晶圓軟烘 晶圓封裝 晶圓預(yù)熱 百級無塵烘箱 聯(lián)網(wǎng)烘箱設(shè)備COL-2D-PC
旦順晶圓軟烘 晶圓封裝 晶圓預(yù)熱 百級無塵烘箱 聯(lián)網(wǎng)烘箱設(shè)備COL-2D-PC
詳細(xì)信息| 詢價留言加工定制：是 適用物料：多種可用 結(jié)構(gòu)形式：多層式 應(yīng)用領(lǐng)域：工業(yè) 傳熱面積：待定 ㎡ 轉(zhuǎn)速：1 r/min 功率：待定 kw 外形尺寸：訂制 m 占地面積：定制 ㎡ 重量：待定 kg 品牌：旦順 型號：COL-2D-PC 晶圓軟烘 晶圓封裝 晶圓預(yù)熱 百級無塵烘箱 聯(lián)網(wǎng)烘箱設(shè)備
無塵烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機(jī)構(gòu)。- 無塵烘箱特點(diǎn)：
2.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class 100
3.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺本身所產(chǎn)生微塵；
4.采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產(chǎn)
生PARTICLE；
5.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國進(jìn)口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計)
方向送風(fēng)，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風(fēng)門)
二．無塵烘箱產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)
1.名稱及型號：無塵烘箱 COL-2D-PC
2.主要技術(shù)指標(biāo)：
2.1無塵等級：Class 100;
2.2溫度范圍： +60～ 200℃,
2.3溫度均勻度：±1.5%℃（空載測試）
2.4溫度精確度：±1℃（空載）
2.5設(shè)備型號：型號 工作室尺寸（mm） 外形尺寸（mm） 加熱功率 臺數(shù) 層板 COL-2D-PC W600×H550×D600（上）
W600×H550×D600（下）W1460×H1590×D825 14kw 1臺 2片 3、溫控系統(tǒng)
3.1采用智能控制系統(tǒng),日本優(yōu)易控 10〃TFT真彩觸摸薄屏
程式編輯：可預(yù)編120個程式，每個程式*大可編99段，共1200段
歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過USB接口導(dǎo)出)
3.2訊號來源：采日制進(jìn)口CA感應(yīng)棒±0.5%。
3.3輸出被控制組件：SSR無接點(diǎn)訊號輸出。- 完善的安全保護(hù)措施：漏電保護(hù)//過熱保護(hù) 報警//電機(jī)保護(hù) 報警//門鎖， 工作時門自動鎖//異
公司名稱：上海旦順實(shí)業(yè)有限公司
業(yè)務(wù)經(jīng)理：蔣鑫; 手機(jī)號：15221744475
24小時服務(wù)熱線：400-823-8860
公司主頁：www.done-e.com
-
-
產(chǎn)品搜索
留 言
- 聯(lián)系人：蔣鑫
- 電 話：4008238860
- 手 機(jī)：15221744475
- 地 址：常州市新北區(qū)樂山路26號2號樓
- 網(wǎng) 址： https://done2010.cn.goepe.com/
http://www.gxonly.com
-
公司相冊