當(dāng)前位置：
上海旦順實(shí)業(yè)有限公司 >
產(chǎn)品中心 >
半導(dǎo)體行業(yè)烤箱 > 旦順晶圓涂膠堅(jiān)膜 晶圓顯影 聯(lián)網(wǎng)無(wú)塵烘箱 可對(duì)接MES系統(tǒng)COL-2D-PC
旦順晶圓涂膠堅(jiān)膜 晶圓顯影 聯(lián)網(wǎng)無(wú)塵烘箱 可對(duì)接MES系統(tǒng)COL-2D-PC
| 產(chǎn)品型號(hào)： |
COL-2D-PC |
| 品 牌： |
旦順 |
| 價(jià)格電議,您可以向供應(yīng)商詢價(jià)得到該產(chǎn)品價(jià)格 |
|
| 所 在 地： |
江蘇常州 |
| 更新日期： |
2025-02-17 |
| | 加工定制：是 | | 適用物料：多種可用 | | 結(jié)構(gòu)形式：多層式 | |
| | 應(yīng)用領(lǐng)域：工業(yè) | | 傳熱面積：待定 ㎡ | | 轉(zhuǎn)速：1 r/min | |
| | 功率：待定 kw | | 外形尺寸：定制 m | | 占地面積：可定制 ㎡ | |
| | 重量：待定 kg | | 品牌：旦順 | | 型號(hào)：COL-2D-PC | |
晶圓涂膠堅(jiān)膜 晶圓顯影 聯(lián)網(wǎng)無(wú)塵烘箱 可對(duì)接MES系統(tǒng)
無(wú)塵烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅(jiān)膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機(jī)構(gòu)。
1.可對(duì)接MES系統(tǒng)
2.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100
3.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；
4.采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)
生PARTICLE；
5.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國(guó)進(jìn)口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門(mén)(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))
方向送風(fēng)，過(guò)濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門(mén))
二．無(wú)塵烘箱產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)
1.名稱及型號(hào)：無(wú)塵烘箱 COL-2D-PC
2.主要技術(shù)指標(biāo)：
2.1無(wú)塵等級(jí)：Class 100;
2.2溫度范圍： +60～ 200℃,
2.3溫度均勻度：±1.5%℃（空載測(cè)試）
2.4溫度精確度：±1℃（空載）
2.5設(shè)備型號(hào)：
| 型號(hào) |
工作室尺寸（mm） |
外形尺寸（mm） |
加熱功率 |
臺(tái)數(shù) |
層板 |
| COL-2D-PC |
W600×H550×D600（上）
W600×H550×D600（下） |
W1460×H1590×D825 |
14kw |
1臺(tái) |
2片 |
3、溫控系統(tǒng)
3.1采用智能控制系統(tǒng),日本優(yōu)易控 10〃TFT真彩觸摸薄屏
程式編輯：可預(yù)編120個(gè)程式，每個(gè)程式*大可編99段，共1200段
歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過(guò)USB接口導(dǎo)出)
3.2訊號(hào)來(lái)源：采日制進(jìn)口CA感應(yīng)棒±0.5%。
3.3輸出被控制組件：SSR無(wú)接點(diǎn)訊號(hào)輸出。
- 完善的安全保護(hù)措施：漏電保護(hù)//過(guò)熱保護(hù) 報(bào)警//電機(jī)保護(hù) 報(bào)警//門(mén)鎖， 工作時(shí)門(mén)自動(dòng)鎖//異
常顯示(紅色警示燈)
公司名稱：上海旦順實(shí)業(yè)有限公司
業(yè)務(wù)經(jīng)理：蔣鑫; 手機(jī)號(hào)：15221744475
24小時(shí)服務(wù)熱線：400-823-8860
公司主頁(yè)：www.done-e.com
