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class100聯(lián)網(wǎng)智能化無塵烘箱 光刻工藝清洗后脫水無塵烘箱
產(chǎn)品型號(hào)： COL-3-PC 品 牌： 旦順 價(jià)格電議,您可以向供應(yīng)商詢價(jià)得到該產(chǎn)品價(jià)格 所 在 地： 江蘇常州 更新日期： 2025-02-17 詳細(xì)信息品牌：旦順 型號(hào)：COL-3-PC 加工定制：是 類型：無塵 材質(zhì)：不銹鋼 溫度范圍：待定 ℃ 功率：10.5kw 工作室尺寸：W600×H900×D500 mm 適用范圍：工藝清洗
無塵烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅(jiān)膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機(jī)構(gòu)。class100聯(lián)網(wǎng)智能化無塵烘箱 光刻工藝清洗后脫水無塵烘箱
一、無塵烘箱特點(diǎn)：
1. 在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class 100
2. 采用智能控制系統(tǒng),可對接MES系統(tǒng)數(shù)據(jù)采集需求，操作方便；
3.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；
4.采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避
免烘烤時(shí)產(chǎn)生PARTICLE；
5.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國進(jìn)口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門
(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng)，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門)
6. 完善的保護(hù)措施，漏電斷路器/超溫保護(hù)/欠相保護(hù)/馬達(dá)過載電流保護(hù)/機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器警示，安全可靠！
二、規(guī)格尺寸多種可選(也可根據(jù)客戶尺寸定制）型號(hào) 工作尺寸（mm） 外形尺寸（mm） 功率 COL-2-PC W600×H600×D500 W950×H1510×D1240 7.5Kw COL-3-PC W600×H900×D500 W950×H1810×D1240 10.5Kw COL-4-PC W800×H1000×D600 W1290×H1790×D955 11Kw COL-5-PC W1400×H1000×D700 W1950×H1790×D1055 17Kw
公司名稱：上海旦順實(shí)業(yè)有限公司
業(yè)務(wù)經(jīng)理：蔣鑫; 手機(jī)號(hào)：15221744475
24小時(shí)服務(wù)熱線：400-823-8860
公司主頁：www.done-e.com
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