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聯(lián)網(wǎng)光刻工藝無塵烘箱 聯(lián)網(wǎng)class100無塵烘箱
| 產(chǎn)品型號： |
COL-2-PC |
| 品 牌： |
旦順 |
| 價格電議,您可以向供應商詢價得到該產(chǎn)品價格 |
|
| 所 在 地： |
江蘇常州 |
| 更新日期： |
2025-02-17 |
| | 品牌：旦順 | | 型號：COL-2-PC | | 加工定制：是 | |
| | 類型：無塵 | | 材質(zhì)：不銹鋼 | | 溫度范圍：定制 ℃ | |
| | 功率：7.5kw | | 工作室尺寸：W600×H600×D500 mm | | 適用范圍：晶圓片 | |
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無塵烘箱主要應用于半導體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機構(gòu)。
一、無塵烘箱特點：
1. 在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100
2. 采用智能控制系統(tǒng),可對接MES系統(tǒng)數(shù)據(jù)采集需求，操作方便；
3.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
4.采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避
免烘烤時產(chǎn)生PARTICLE；
5.采平面水平由后向前送風后經(jīng)美國進口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門
(特殊風道設計)方向送風，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)
6. 完善的保護措施，漏電斷路器/超溫保護/欠相保護/馬達過載電流保護/機臺異常蜂鳴器警示，安全可靠！
二、規(guī)格尺寸多種可選(也可根據(jù)客戶尺寸定制）
| 型號 |
工作尺寸（mm） |
外形尺寸（mm） |
功率 |
| COL-2-PC |
W600×H600×D500 |
W950×H1510×D1240 |
7.5Kw |
| COL-3-PC |
W600×H900×D500 |
W950×H1810×D1240 |
10.5Kw |
| COL-4-PC |
W800×H1000×D600 |
W1290×H1790×D955 |
11Kw |
| COL-5-PC |
W1400×H1000×D700 |
W1950×H1790×D1055 |
17Kw |
公司名稱：上海旦順實業(yè)有限公司
業(yè)務經(jīng)理：蔣鑫; 手機號：15221744475
24小時服務熱線：400-823-8860
公司主頁：www.done-e.com
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