砷化鎵材料顯影后的高溫烘烤箱，無塵室專用烘箱
．用途:
無塵烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。
二．特點：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
3.采平面水平由后向前送風后經(jīng)美國進口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風道設(shè)計)方向送風，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)
4.強制送風循環(huán)方式。雙風道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到*佳溫度控制精度。
三．產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)：
1.無塵等級：Class 100;
2.溫度范圍： +60～ +250℃；
3.升溫速度：常溫～+200℃,升溫速度>6℃/min  ,
4.溫度均勻度：±2.5℃;（空載）
5.溫度精確度：±1℃（空載）
6.設(shè)備型號：

型號	工作室尺寸（mm）	外形尺寸（mm）	加熱功率	層板
COL-2D(雙腔）	W600×H500×D600	W1655×H1850×D1250	14kw	共2片

7.全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機臺本身產(chǎn)生微塵；
8.內(nèi)膽材料：采用進口SUS304#日制鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產(chǎn)生 PARTICLE；
9.中桶材料：采用進口SUS304#日制鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。
10.保溫材料：采用正廠中央玻璃纖維公司出品，100K級高密度高保溫板制造。
11.電 熱 器：采進口覆套式電熱器 (SHEATHED HEATER)無塵化電熱發(fā)生器。
12.溫 控 器：采用日本OMRON E5A型溫度控制器，控制器LED數(shù)字顯示及設(shè)定、PID自動演算、薄膜設(shè)定，精確度±0.3%FS。
13.完善的安全保護措施：漏電保護/過熱保護報警/電機保護報警/ 門鎖工作時門自動鎖/異常顯示(三色警示燈)
無塵烘烤箱熱線：400-8238860 ；聯(lián)系人：蔣鑫, QQ:--- 參考