砷化鎵材料涂膠后堅(jiān)膜烘烤箱，class100無塵室烘箱
| 產(chǎn)品型號： |
COL-2D |
| 品 牌： |
上海旦順 |
| 價(jià)格電議,您可以向供應(yīng)商詢價(jià)得到該產(chǎn)品價(jià)格 |
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| 所 在 地： |
江蘇常州 |
| 更新日期： |
2025-02-17 |
| | 品牌：上海旦順 | | 型號：COL-2D | | 加工定制：是 | |
| | 類型：無塵烘箱 | | 材質(zhì)：內(nèi)外不銹鋼 | | 溫度范圍：W600×H500×D600 ℃ | |
| | 功率：14kw | | 工作室尺寸：W600×H500×D600 mm | | 溫度范圍：W600×H500×D600 ℃ | |
砷化鎵材料涂膠后堅(jiān)膜烘烤箱，class100無塵室烘箱
一．用途:
無塵烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。
二．特點(diǎn)：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class 100
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；
3.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國進(jìn)口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng)，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門)
4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到*佳溫度控制精度。
三．產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)：
1.無塵等級：Class 100;
2.溫度范圍： +60～ +250℃；
3.升溫速度：常溫～+200℃,升溫速度>6℃/min ,
4.溫度均勻度：±2.5℃;（空載）
5.溫度精確度：±1℃（空載）
6.設(shè)備型號：
| 型號 |
工作室尺寸（mm） |
外形尺寸（mm） |
加熱功率 |
層板 |
| COL-2D(雙腔） |
W600×H500×D600 |
W1655×H1850×D1250 |
14kw |
共2片 |
7.全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機(jī)臺(tái)本身產(chǎn)生微塵；
8.內(nèi)膽材料：采用進(jìn)口SUS304#日制鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE；
9.中桶材料：采用進(jìn)口SUS304#日制鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。
10.保溫材料：采用正廠中央玻璃纖維公司出品，100K級高密度高保溫板制造。
11.電 熱 器：采進(jìn)口覆套式電熱器 (SHEATHED HEATER)無塵化電熱發(fā)生器。
12.溫 控 器：采用日本OMRON E5A型溫度控制器，控制器LED數(shù)字顯示及設(shè)定、PID自動(dòng)演算、薄膜設(shè)定，精確度±0.3%FS。
13.完善的安全保護(hù)措施：漏電保護(hù)/過熱保護(hù)報(bào)警/電機(jī)保護(hù)報(bào)警/ 門鎖工作時(shí)門自動(dòng)鎖/異常顯示(三色警示燈)
