砷化鎵材料涂膠前預處理烘烤箱，百級無塵烘箱
一．用途:
無塵烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門。
二．特點：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；
3.采平面水平由后向前送風后經美國進口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風道設計)方向送風，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)
4.強制送風循環(huán)方式。雙風道循環(huán)結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到*佳溫度控制精度。
三．產品技術參數(shù)：
1.無塵等級：Class 100;
2.溫度范圍： +60～ +250℃；
3.升溫速度：常溫～+200℃,升溫速度>6℃/min  ,
4.溫度均勻度：±2.5℃;（空載）
5.溫度精確度：±1℃（空載）
6.設備型號：

型號	工作室尺寸（mm）	外形尺寸（mm）	加熱功率	層板
COL-2D(雙腔）	W600×H500×D600	W1655×H1850×D1250	14kw	共2片

7.全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產生器，防機臺本身產生微塵；
8.內膽材料：采用進口SUS304#日制鏡面不銹鋼板，并經堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產生 PARTICLE；
9.中桶材料：采用進口SUS304#日制鏡面不銹鋼板，并經堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。
10.保溫材料：采用正廠中央玻璃纖維公司出品，100K級高密度高保溫板制造。
11.電 熱 器：采進口覆套式電熱器 (SHEATHED HEATER)無塵化電熱發(fā)生器。
12.溫 控 器：采用日本OMRON E5A型溫度控制器，控制器LED數(shù)字顯示及設定、PID自動演算、薄膜設定，精確度±0.3%FS。
13.完善的安全保護措施：漏電保護/過熱保護報警/電機保護報警/ 門鎖工作時門自動鎖/異常顯示(三色警示燈)