- 技術(shù)文章
雙層無塵烘箱，百級無塵烘箱，自動化無塵烘箱
2019-04-04 14:12:29 來源：
無塵烘箱主要應(yīng)用于半導體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機構(gòu)。
一．無塵烘箱特點：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
3.采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產(chǎn)生PARTICLE；
4.采平面水平由后向前送風后經(jīng)美國進口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門(特殊風道設(shè)計)方向送風，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)
5.溫度范圍： +60～ 200℃,
6.溫度均勻度：±1.5%℃（空載測試）
7.工作室尺寸（mm）：W600×H550×D600*2
8.采用智能控制系統(tǒng),日本優(yōu)易控 7〃TFT真彩觸摸薄屏
程式編輯：可預(yù)編120個程式，每個程式*大可編99段，共1200段
歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過USB接口導出)
9.完善的安全保護措施：漏電保護//過熱保護 報警//電機保護 報警//門鎖， 工作時門自動鎖//異常顯示(紅色警示燈)
留言上一篇:小型零件的再去氫熱處理下一篇:厭氧培養(yǎng)箱的使用注意事項新發(fā)布 -
-
產(chǎn)品搜索
留 言
- 聯(lián)系人：蔣鑫
- 電 話：4008238860
- 手 機：15221744475
- 地 址：常州市新北區(qū)樂山路26號2號樓
- 網(wǎng) 址： https://done2010.cn.goepe.com/
http://www.gxonly.com
-
公司相冊