- 技術(shù)文章
無塵烘箱，百級無塵烘箱
2019-04-01 17:06:39 來源：
無塵烘箱，百級無塵烘箱無塵烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅(jiān)膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機(jī)構(gòu)。
一、無塵烘箱人性化箱體結(jié)構(gòu)
1)上下雙腔結(jié)構(gòu),節(jié)省占地面積.
2)SUS304#鏡面不銹鋼內(nèi)膽,SUS304#拉絲不銹鋼板外殼,造型大方、新穎.
3)耐高溫風(fēng)機(jī)和合理風(fēng)道構(gòu)成熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng),保證室內(nèi)溫度均勻性.
3)美國進(jìn)口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計)方向送風(fēng)，
過濾效率99.99%，Class 100- 無塵烘箱自動化控溫系統(tǒng)
程式編輯：可預(yù)編120個程式，每個程式*大可編99段，共1200段
歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過USB接口導(dǎo)出)
2）電氣線路設(shè)計新穎，合理布線，安全可靠
3）箱體側(cè)部為電氣控制柜，方便于集中檢查維修。- 無塵烘箱安全完善的保護(hù)措施
2）欠相缺相保護(hù)
3）過電流保護(hù)
4）快速熔斷器
5）接地保護(hù)等系統(tǒng)。該功能充分保護(hù)實(shí)驗(yàn)人員的安全。
公司名稱：上海旦順實(shí)業(yè)有限公司
業(yè)務(wù)經(jīng)理：周高超 手機(jī)號：15221841067
業(yè)務(wù)經(jīng)理：蔣鑫; 手機(jī)號：15221744475
24小時服務(wù)熱線：400-823-8860
公司主頁：www.done-e.com
留言新發(fā)布
-
產(chǎn)品搜索
留 言
- 聯(lián)系人：蔣鑫
- 電 話：4008238860
- 手 機(jī)：15221744475
- 地 址：常州市新北區(qū)樂山路26號2號樓
- 網(wǎng) 址： https://done2010.cn.goepe.com/
http://www.gxonly.com
-
公司相冊